【一】、控制參數(shù)校準技術(shù)
光刻機工作臺是多變量的控制系統(tǒng)，存在動力學模型非線性、各白由度強藕合的特點，大理石平臺控制策略在工程實施過程中存在著不可避免的簡化，導(dǎo)致控制精度的下降。此外，工作臺長期高速運動所致的器件溫漂，部件運動過程中的松動也會造成控制參數(shù)與實際模型不匹配，進而影響控制精度。因此，需要對工作臺的運動特點進行分析，設(shè)計相應(yīng)的參數(shù)校準方法，通過對控制參數(shù)的校準與標定進而補償工作臺系統(tǒng)中的不確定因素。
1、電動機常數(shù)校準
電動機常數(shù)負責將控制器輸出的力轉(zhuǎn)換為驅(qū)動電動機運動的電流值，基于控制系統(tǒng)中實測的機械傳遞函數(shù)，計算出系統(tǒng)的測試質(zhì)量，通過測試質(zhì)量與工作臺實際質(zhì)量的比值，校正電動機常數(shù)，使控制器輸出力轉(zhuǎn)換為驅(qū)動電流。
2、加速度前饋控制參數(shù)校準
加速度前饋環(huán)路與位置反饋環(huán)路之問存在耦合。理論上，如果加速度前饋控制參數(shù)足夠準確，工作臺運動所需驅(qū)動力由前饋環(huán)節(jié)提供，此時，位置誤差將為零。基于上述分析，將實測反饋環(huán)路的控制力轉(zhuǎn)移到前饋環(huán)節(jié)，通過改變前饋控制參數(shù)來承擔所轉(zhuǎn)移的反饋控制力，進而起到校準前饋控制參數(shù)的目的。校準過程應(yīng)該迭代進行，基于跟隨誤差較小的原則建立目標函數(shù)，并采用梯度矢量求解的方法對固定前饋控制結(jié)構(gòu)中的參數(shù)進行了校準；基于工作臺的規(guī)劃加速度和實測反饋控制力，計算出轉(zhuǎn)換質(zhì)量并進行疊加，實現(xiàn)了前饋控制參數(shù)的迭代校準。
3、解耦控制參數(shù)校準
解耦控制器是微動臺動力學模型的逆變換，由于工程實施過程中存在簡化，解耦控制參數(shù)無法與系統(tǒng)特性匹配。在水平向3白由度運動控制中，如果解耦參數(shù)準確，一個方向的運動對其他兩個方向的跟隨誤差不會產(chǎn)生影響，基于此，利用運動方向的規(guī)劃加速度和非運動方向的反饋控制力計算串擾系數(shù)，將非運動方向的反饋控制力通過解耦參數(shù)的改變(即校準過程)進行轉(zhuǎn)移；基于運動過程中非運動方向跟隨誤差較小的原則，構(gòu)建目標函數(shù)并進行極值求解，對解耦控制器中的參數(shù)進行了校準。
【二】、什么程度下的大理石平臺需要維修？
維修大理石平臺（大理石平板）先要確定目前大理石平臺的誤差在什么范圍，需要維修到什么范圍之內(nèi)，工作面是否產(chǎn)生坑洼。如果大理石平臺表面已經(jīng)產(chǎn)生小坑，就需要返廠加工。如果只是精度變了那么請師傅到使用現(xiàn)場去維修就可以了。
大理石平板是一種檢驗測量工具，它的主要特點就是。大理石平臺在長期頻繁的使用后精度誤差會慢慢變大，大理石平臺精度失準，這種情況下就需要進行維修了。
大理石平臺的維修步驟：
1. 檢測大理石平臺精度，確定其當前誤差。
2. 使用研磨砂及研磨工具對大理石平臺進行粗研，通過粗研達到基準的平整要求。
3. 將粗磨后的大理石平臺，進行二次半細磨，是去除比較深的劃痕后，使大理石平臺可以達到標準的平面度。
4. 精研大理石平臺工作面，使其達到所理想的精度。
5. 檢測大理石平臺精研后的精度，然后放置一段時間后再次檢測大理石平臺精度。
注：花崗石平臺平板，大理石平臺平板的維修需要在恒溫室內(nèi)進行，的大理石平臺對室內(nèi)濕度也有要求，一般要求溫度是20±2°，35%的濕度。